科睿設(shè)備有限公司所推出的納米顆粒沉積系統(tǒng)，其主要優(yōu)勢在于實現(xiàn)了在超高真空環(huán)境下，將超純、非團聚的納米顆粒直接沉積到最大直徑50毫米的各類基底上。這一技術(shù)突解決了傳統(tǒng)納米材料制備中常見的顆粒團聚、污染等問題，為高質(zhì)量納米結(jié)構(gòu)制備奠定了堅實基礎(chǔ)。系統(tǒng)采用的特高壓設(shè)計，能夠?qū)⑶惑w內(nèi)的本底真空度維持在極高水平，有效避免了水汽、氧氣等殘余氣體對沉積過程的干擾，確保了納米顆粒的化學(xué)純度和結(jié)構(gòu)完整性，這對于對材料性能極為敏感的高科技研究至關(guān)重要。

涂層均勻性不佳時，可通過調(diào)整基板旋轉(zhuǎn)速率或優(yōu)化粒子束流聚焦解決。納米團簇沉積系統(tǒng)控制

光子學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用：精細沉積賦能高性能光子器件研發(fā)。

光子學(xué)作為研究光與物質(zhì)相互作用的前沿學(xué)科，其發(fā)展高度依賴于高性能光子材料和器件的制備，而納米顆粒和薄膜的沉積質(zhì)量直接影響光子器件的光學(xué)性能?？祁ＴO(shè)備的納米顆粒沉積系統(tǒng)、超高真空PVD系統(tǒng)等產(chǎn)品，憑借精細的工藝控制和高純度的沉積效果，成為光子學(xué)領(lǐng)域研發(fā)的主要設(shè)備。在光子材料制備方面，系統(tǒng)可通過調(diào)控納米顆粒的尺寸、形狀和組成，制備出具有特定光學(xué)特性的納米材料，例如通過沉積貴金屬納米顆粒實現(xiàn)表面等離激元共振效應(yīng)，用于增強光吸收或光發(fā)射；通過沉積半導(dǎo)體納米顆粒制備量子點材料，用于熒光傳感或量子光學(xué)器件。 納米團簇沉積系統(tǒng)控制迷你電子束蒸發(fā)器、磁控濺射源等多模塊集成，滿足復(fù)雜沉積工藝需求。

納米顆粒和薄膜超高真空（UHV）沉積系統(tǒng)的工作原理，是在超高真空環(huán)境中，通過特定物理 / 化學(xué)機制產(chǎn)生超純納米顆粒或薄膜材料，再將其準確、均勻地沉積到目標基材表面，整個過程需實現(xiàn) “真空環(huán)境控制、材料源激發(fā)、粒子傳輸與篩選、基材相互作用” 四大關(guān)鍵環(huán)節(jié)的協(xié)同，獲得高純度、低缺陷、結(jié)構(gòu)可控的納米級沉積層。

納米顆粒和薄膜 UHV 沉積系統(tǒng)的應(yīng)用場景，本質(zhì)是通過 “超純、準確、可控” 的納米制備技術(shù)，解決不同領(lǐng)域中 “材料結(jié)構(gòu)調(diào)控” 的主要需求 —— 無論是工業(yè)研發(fā)中提升產(chǎn)品性能（如催化劑活性、電池壽命），還是學(xué)術(shù)研究中探索材料新機理，其多技術(shù)集成、多基材適配的特性，使其成為連接基礎(chǔ)研究與實際應(yīng)用的關(guān)鍵橋梁，服務(wù)于高校、科研院所、高科技術(shù)企業(yè)的創(chuàng)新需求。

科睿設(shè)備：深耕科研儀器領(lǐng)域，賦能多學(xué)科創(chuàng)新突破。

科睿設(shè)備有限公司作為專注于微電子、半導(dǎo)體、過濾設(shè)備、生命科學(xué)及材料科學(xué)研發(fā)的進口科研儀器供應(yīng)商，始終以技術(shù)創(chuàng)新為原則，聚焦納米科技相關(guān)設(shè)備的引進與推廣，為全球科研機構(gòu)和企業(yè)提供高性能解決方案。公司主營的納米顆粒沉積系統(tǒng)、超高真空PVD系統(tǒng)、粉體鍍膜涂覆系統(tǒng)等系列產(chǎn)品，憑借精洗的工藝控制、廣泛的應(yīng)用適配性和穩(wěn)定的運行表現(xiàn)，成為工業(yè)研發(fā)與學(xué)術(shù)研究的主要支撐設(shè)備。多年來，科睿設(shè)備深耕細分領(lǐng)域，不僅注重產(chǎn)品本身的技術(shù)先進性，更致力于為用戶提供從設(shè)備選型、安裝調(diào)試到后期運維的全周期服務(wù)，助力科研工作者打破技術(shù)瓶頸，在催化、光子學(xué)、儲能、傳感器及生命科學(xué)等多個前沿領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)創(chuàng)新突破。無論是共享研究實驗室的多用戶并行使用需求，還是工業(yè)場景下的高精度批量生產(chǎn)要求，科睿設(shè)備都能通過定制化的產(chǎn)品配置和專業(yè)的技術(shù)支持，滿足不同用戶的訴求，成為科研創(chuàng)新道路上的可靠合作伙伴。 利用QMS質(zhì)量過濾器可實現(xiàn)納米顆粒按尺寸的實時篩選。

新南威爾士大學(xué)AronMichael團隊利用超高真空電子束蒸發(fā)硅系統(tǒng)，攻克了CMOS上集成MEMS時的低熱預(yù)算難題。該系統(tǒng)可在≤500℃的低熱預(yù)算下，制備出厚度達60μm、表面光滑且低應(yīng)力的原位磷摻雜硅薄膜，沉積速率達1μm/min，且不會損害CMOS的完整性。團隊還基于這種厚多晶硅膜設(shè)計制造了20μm厚的梳狀驅(qū)動結(jié)構(gòu)，成功實現(xiàn)了加速度計的功能。該案例為MEMS器件提供了新型低成本厚多晶硅技術(shù)，助力汽車、可穿戴設(shè)備等領(lǐng)域智能傳感器的低成本集成。設(shè)備維護需定期清潔沉積源與真空室，更換老化密封圈與過濾部件。納米團簇沉積系統(tǒng)控制

迷你電子束蒸發(fā)器適于高熔點材料的快速蒸發(fā)與沉積。納米團簇沉積系統(tǒng)控制

在醫(yī)用器械領(lǐng)域，通過超高真空 PVD 系統(tǒng)在植入式醫(yī)療器械（如人工關(guān)節(jié)、心臟支架、骨科螺釘?shù)龋┍砻娉练e生物相容性納米涂層（如鈦基納米涂層、羥基磷灰石納米涂層），可改善器械表面的生物相容性，促進器械與人體組織的整合，減少排異反應(yīng)，同時提升器械的耐磨性和耐腐蝕性，延長其使用壽命。在生物檢測領(lǐng)域，通過沉積特異性識別納米顆粒（如抗體修飾的納米顆粒、核酸功能化的納米顆粒），可制備高靈敏度的生物傳感器，用于疾病標志物的快速檢測和診斷。此外，系統(tǒng)采用的無化學(xué)物質(zhì)工藝確保了納米涂層的高純度和安全性，避免了化學(xué)殘留對生物體系的影響，符合生命科學(xué)領(lǐng)域的嚴格要求?？祁ＴO(shè)備的相關(guān)系統(tǒng)為生命科學(xué)領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究、藥物研發(fā)和醫(yī)療器械創(chuàng)新提供了可靠的技術(shù)支撐，助力醫(yī)療健康產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。納米團簇沉積系統(tǒng)控制

科睿設(shè)備有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才，集企業(yè)奇思，創(chuàng)經(jīng)濟奇跡，一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創(chuàng)新天地，繪畫新藍圖，在上海市等地區(qū)的化工中始終保持良好的信譽，信奉著“爭取每一個客戶不容易，失去每一個用戶很簡單”的理念，市場是企業(yè)的方向，質(zhì)量是企業(yè)的生命，在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下，全體上下，團結(jié)一致，共同進退，**協(xié)力把各方面工作做得更好，努力開創(chuàng)工作的新局面，公司的新高度，未來科睿設(shè)備供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來，即使現(xiàn)在有一點小小的成績，也不足以驕傲，過去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗，才能繼續(xù)上路，讓我們一起點燃新的希望，放飛新的夢想！