上海彌正超高純?nèi)?N 級(jí)純度），是半導(dǎo)體等離子體刻蝕工藝的關(guān)鍵清洗氣體，以 “高純度 + 低污染” 助力芯片制程精細(xì)化。采用低溫吸附與精餾提純工藝，將雜質(zhì)含量控制在 1ppb 以內(nèi)，其中金屬雜質(zhì)與顆粒物雜質(zhì)均≤0.1ppb，能準(zhǔn)確匹配 7nm 及以下先進(jìn)制程的刻蝕需求。其強(qiáng)氧化性可高效去除晶圓表面的硅化物、金屬氧化物等殘留沉積物，且反應(yīng)產(chǎn)物易揮發(fā)，無需額外復(fù)雜清洗步驟，有效提升刻蝕工藝效率。配備特用環(huán)保處理系統(tǒng)，氣體使用后可通過回收裝置實(shí)現(xiàn) 67% 的再利用率，降低環(huán)境排放與使用成本，符合亞洲芯片代工廠的生態(tài)合規(guī)要求。某半導(dǎo)體代工廠應(yīng)用后，晶圓刻蝕殘留率從 0.8% 降至 0.05%，刻蝕工藝效率提升 15%，單晶圓制造成本降低 3%，同時(shí)滿足 SEMI 國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)的環(huán)保與純度標(biāo)準(zhǔn)，成為先進(jìn)制程刻蝕工藝的推薦清洗氣體。超高純氦氣（純度 99.9999%）用作色譜儀載氣，保障檢測(cè)精度。江蘇六氟化硫超高純氣體核磁共振成像

上海彌正針對(duì)碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）等第三代半導(dǎo)體制造，打造專屬超高純氣體解決方案，以 “適配寬禁帶特性 + 準(zhǔn)確工藝控制” 助力功率器件與射頻器件量產(chǎn)。方案涵蓋超高純氨氣、硅烷、氫氣、氬氣等重心氣體，其中用于 GaN 外延生長(zhǎng)的超高純氨氣純度達(dá) 7N 級(jí)，金屬雜質(zhì)含量≤0.01ppb；用于 SiC 刻蝕的超高純氟化物氣體純度達(dá) 6N 級(jí)，確保材料刻蝕的準(zhǔn)確度與表面質(zhì)量。第三代半導(dǎo)體材料具有耐高溫、耐高壓、高頻的特性，對(duì)氣體純度與雜質(zhì)控制要求遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)硅基半導(dǎo)體，該方案通過準(zhǔn)確控制氧、碳、金屬等雜質(zhì)含量，有效減少外延層缺陷，提升器件的擊穿電壓與可靠性。提供外延生長(zhǎng)、離子注入、刻蝕、退火等全工藝環(huán)節(jié)的氣體組合，并配備工藝適配團(tuán)隊(duì)，協(xié)助客戶優(yōu)化氣體流量、壓力等工藝參數(shù)。某專注于 SiC 功率器件的企業(yè)應(yīng)用該方案后，外延片的缺陷密度從 103cm?2 降至 102cm?2 以下，器件的擊穿電壓提升 20%，成功實(shí)現(xiàn)車規(guī)級(jí) SiC MOSFET 的穩(wěn)定量產(chǎn)。環(huán)氧乙烷超高純氣體檢測(cè)分析超高純硅烷用于太陽(yáng)能電池制造，提升電池轉(zhuǎn)換效率與壽命。

上海彌正超高純氨氣（6N 級(jí)純度），專為 OLED、Micro-LED 等新一代顯示技術(shù)打造，是顯示面板化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝的重心原料。通過催化分解與吸附提純工藝，將水、油、顆粒物等雜質(zhì)含量控制在 0.5ppb 以下，其中金屬雜質(zhì)（鐵、銅、鉀等）含量≤0.01ppb，避免影響面板像素發(fā)光效率與壽命。在 OLED 面板制造中，超高純氨氣作為氮源，參與有機(jī)發(fā)光層與電子傳輸層的沉積過程，直接影響像素點(diǎn)的發(fā)光均勻性；在 LCD 面板生產(chǎn)中，可用于硅 nitride 薄膜制備，提升面板抗劃傷性能與穩(wěn)定性。采用耐腐蝕特用氣瓶包裝，配備高精度流量控制系統(tǒng)，支持連續(xù) 24 小時(shí)穩(wěn)定輸送，流量調(diào)節(jié)范圍 1-50L/min。某顯示面板企業(yè)應(yīng)用后，OLED 面板像素發(fā)光均勻度提升 3%，不良品率從 1.2% 降至 0.15%，面板使用壽命延長(zhǎng) 10%，完全適配 8.6 代及以上高世代線的大規(guī)模生產(chǎn)需求，助力顯示產(chǎn)業(yè)向高清化、柔性化升級(jí)。

上海彌正精密儀器校準(zhǔn)用超高純標(biāo)準(zhǔn)混合氣，以 “準(zhǔn)確配比 + 高穩(wěn)定性” 成為實(shí)驗(yàn)室分析、環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)檢測(cè)等領(lǐng)域儀器校準(zhǔn)的基準(zhǔn)物質(zhì)。該系列混合氣基于超高純單一氣體（純度≥99.999%）配制而成，可根據(jù)客戶需求定制二元、三元及多元混合氣，組分濃度范圍從 1ppm 至 50%，配比精度達(dá) ±1%，部分關(guān)鍵組分精度可達(dá) ±0.1ppm。采用國(guó)際先進(jìn)的靜態(tài)重量法配制，每批次產(chǎn)品均通過氣相色譜 - 質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）、激光光譜等多種精密設(shè)備進(jìn)行驗(yàn)證，確保濃度準(zhǔn)確可靠，并提供國(guó)家計(jì)量認(rèn)證（CMA）的檢測(cè)報(bào)告，可溯源至國(guó)家基準(zhǔn)物質(zhì)。廣泛應(yīng)用于氣相色譜儀、質(zhì)譜儀、氣體分析儀等精密儀器的日常校準(zhǔn)與期間核查，有效保證檢測(cè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與可靠性。某第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)使用該標(biāo)準(zhǔn)混合氣后，環(huán)境中 VOCs（揮發(fā)性有機(jī)物）的檢測(cè)誤差從 ±5% 縮小至 ±1%；某化工企業(yè)用于在線氣體分析儀校準(zhǔn)，生產(chǎn)過程的工藝控制精度明顯提升，產(chǎn)品合格率提高 3%。超高純氫氣純度達(dá) 99.9999%，是光伏電池鍍膜工藝的重心還原氣體。

上海彌正推出行業(yè)的超高純氣體回收再利用系統(tǒng)，針對(duì)半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)的工藝尾氣，實(shí)現(xiàn)高效回收、提純與循環(huán)利用，為客戶創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)與環(huán)境雙重價(jià)值。該系統(tǒng)可適配三氟化氮、硅烷、氫氣等多種氣體，通過低溫冷凝、吸附分離與精密過濾等多級(jí)處理工藝，將原本直接排放的工藝尾氣提純至 5N-6N 級(jí)純度，回收利用率比較高可達(dá) 90%。以半導(dǎo)體刻蝕工藝中常用的三氟化氮為例，傳統(tǒng)使用模式下利用率不足 50%，大量尾氣被浪費(fèi)并污染環(huán)境，采用該回收系統(tǒng)后，客戶氣體采購(gòu)成本降低 40%，同時(shí)大幅減少溫室氣體排放。提供 “定制化系統(tǒng) + 運(yùn)維服務(wù)” 的整體解決方案，根據(jù)客戶生產(chǎn)規(guī)模與氣體種類，設(shè)計(jì)專屬回收流程，配備專業(yè)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)系統(tǒng)安裝、調(diào)試與定期維護(hù)，并提供回收氣體的質(zhì)量檢測(cè)報(bào)告。某半導(dǎo)體代工廠應(yīng)用該系統(tǒng)后，年節(jié)省氣體采購(gòu)費(fèi)用超 600 萬(wàn)元，工藝尾氣排放量減少 80%，順利通過 ISO 14064 碳足跡核查，實(shí)現(xiàn)了經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)保責(zé)任的統(tǒng)一。超高純砷烷（雜質(zhì)≤0.5ppm）適配化合物半導(dǎo)體制造，優(yōu)化器件性能。浙江超高純氣體檢測(cè)分析

超高純氫氣用于燃料電池，純度≥99.999% 確保電池高效穩(wěn)定運(yùn)行。江蘇六氟化硫超高純氣體核磁共振成像

上海彌正針對(duì) OLED、LCD 顯示面板制造，推出包含超高純氨氣、硅烷、氮?dú)狻錃獾奶赜脷怏w組合，適配高世代線與新型顯示技術(shù)的生產(chǎn)需求。組合內(nèi)氣體純度均達(dá)到 5N-6N 級(jí)別，其中用于 ITO 薄膜濺射沉積的超高純氧氣純度達(dá) 99.999%，雜質(zhì)含量≤0.5ppb；用于退火工藝的超高純氫氣純度達(dá) 6N 級(jí)，確保薄膜沉積質(zhì)量與器件性能穩(wěn)定。提供定制化的供氣壓力與流量配置，支持根據(jù)不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)（如 CVD 沉積、蝕刻、退火）的工藝參數(shù)準(zhǔn)確適配，輸送系統(tǒng)采用無死腔設(shè)計(jì)，避免氣體殘留與污染。配備實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，可遠(yuǎn)程監(jiān)控氣體純度、壓力、流量等參數(shù)，故障響應(yīng)時(shí)間≤1 小時(shí)。某顯示面板企業(yè)應(yīng)用該組合后，8.6 代線面板良品率提升 2.2%，OLED 面板發(fā)光壽命延長(zhǎng) 15%，年節(jié)約生產(chǎn)成本超 800 萬(wàn)元，且完全滿足 DSCC（Display Supply Chain Consultants）的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，適配中國(guó)大陸地區(qū)顯示面板產(chǎn)業(yè) 41% 的全球市場(chǎng)占比需求。江蘇六氟化硫超高純氣體核磁共振成像

上海彌正氣體有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在上海市等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績(jī)讓我們喜悅，但不會(huì)讓我們止步，殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新，勇于進(jìn)取的無限潛力，上海彌正氣體供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜，相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來越激烈的市場(chǎng)氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難，激流勇進(jìn)，以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！