工作原理與分類 根據物理效應差異，真空計可分為以下三大類： 力學性能類 原理：利用氣體壓力引起的機械形變或電容變化。 典型儀器：波爾登規（Bourdon）、薄膜電容規（測量范圍：101325~133.32Pa）。 特點：適用于腐蝕性氣體和可凝蒸汽。 熱交換類（氣體動力學效應） 原理：基于氣體熱導率隨壓力變化的特性，如皮拉尼真空計通過加熱絲電阻變化推斷壓力（測量范圍：5×10??~1000Pa）。 典型儀器：皮拉尼電阻規、熱電偶規。 帶電粒子效應類 原理：利用氣體電離產生的電流與壓力成正比的關系。 典型儀器：熱陰極/冷陰極電離規（測量范圍：10??~10?1?Pa）。 特點：高精度但易受污染，需避免油蒸氣。真空計的種類有很多，適用范圍也各有不同。優勢真空計銷售方法

3.皮拉尼真空計皮拉尼真空計是一種電阻式真空計，其工作原理是利用氣體分子的熱傳導作用對細金屬絲（通常為鉑絲）的溫度產生影響，從而改變其電阻值。皮拉尼真空計適用于低真空和中真空范圍的測量，具有結構簡單、價格低廉、響應速度快等優點。綜上所述，不同類型的真空計各有其特點和適用情境。在選擇真空計時，應根據實際需求綜合考慮測量范圍、精度、穩定性、便攜性以及價格等因素。希望本文的介紹能對讀者在選用真空計時提供有益的參考便攜式真空計檢修薄膜真空計原理根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計。

Torr至大氣壓（760Torr），適合低真空至中真空。優點：結構簡單、成本低、響應快。局限性：對氣體種類敏感（不同氣體的熱傳導系數不同，需校準）。高真空下精度下降（因熱傳導主要依賴殘余氣體，信號微弱）。2.電離真空計（IonizationGauge）原理：基于氣體電離效應。包括熱陰極電離計（如三極管型）和冷陰極電離計（如潘寧計）。熱陰極型：陰極發射電子，電子撞擊氣體分子使其電離（產生正離子和電子）。收集極捕獲正離子，形成離子電流，其大小與氣體分子密度成正比。通過測量離子電流推算真空度。

復合真空計播報編輯討論上傳視頻由熱偶與熱陰極電離真空計組成的真空測量裝置復合真空計是將熱偶真空計和熱陰極電離真空計組合而成的寬量程真空測量設備，測量范圍覆蓋大氣壓至10??Pa [2]。熱偶真空計通過氣體熱傳導效應測量102-10?1Pa區間的低真空，熱陰極電離真空計利用電子碰撞電離原理檢測10?1-10??Pa范圍的高真空。兩種真空計在10?1Pa量級通過自動切換機制銜接，有效避免電離規管在高壓強工況下損壞 [1] [4]。該設備廣泛應用于真空鍍膜、電子束焊接等工業場景，具備自動校準與多通道控制功能隨著真空技術的普及，大量應用于單晶爐設備，真空計滿足光伏行業基礎單晶硅生產。

    冷陰極真空計（ColdCathodeGauge，如潘寧計）原理：基于高壓電場與磁場協同作用下的氣體放電效應。結構包含兩個陰極和一個陽極，外加軸向磁場。高壓電場使陰極發射電子，電子在磁場中螺旋運動，增加與氣體分子的碰撞概率，導致電離。電離產生的正離子被陰極捕獲，形成離子電流，其大小與氣體分子密度成正比。特點：量程：通常為10?6Torr至10?3Torr，適合中高真空。優點：無加熱元件，結構簡單、壽命長。對振動不敏感（適合航天等惡劣環境）。局限性：低真空下響應慢（需足夠殘余氣體維持放電）。測量結果可能受磁場均勻性影響。本質區別總結類型**物理效應信號來源適用量程對氣體種類敏感性皮拉尼計熱傳導效應金屬絲電阻變化低真空至中真空高（需校準）熱陰極電離計氣體電離效應離子電流高真空至超高真空低（可忽略）冷陰極計（潘寧）高壓電場+磁場放電效應離子電流中高真空低。 被測氣體是否會損傷高精度薄膜真空計；高精度薄膜真空計可否會給被測氣體狀態帶來影響。MSA真空計安裝

零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結構。優勢真空計銷售方法

真空計與壓強的關系為，真空度越高，壓強越小；真空度越低，壓強越大。正因為此，真空度的單位用的是壓強單位。一個標準大氣壓用帕斯卡（Pa）表示為1atm=1.013×105Pa這樣我們就得到不同真空單位之間的換算關系。有了單位，我們就可以對真空度進行劃分。國際上沒有統一的劃分標準，常用的劃分是這樣的，粗真空：760Torr~1Torr低真空：1Torr~10-3Torr一般真空：10-3Torr~10-6Torr高真空：10-6Torr~10-9Torr超高真空：10-9Torr~10-12Tor那么有了這個標準，我們上面提到的針管中的真空以及托里拆利實驗中的真空就都屬于粗真空的范疇了。那么實驗室里常用的超高真空狀態是怎么實現的呢？這就涉及到了我們的**內容——真空泵。優勢真空計銷售方法