真空計是用于測量真空度的設備，其工作原理及測量范圍對于了解真空技術至關重要。在真空鍍膜機的腔體內，真空測量是指利用專門的儀器和裝置來測定某一封閉空間內的真空度。這些儀器或裝置被稱為真空計（或規管），種類繁多，常見的分類方式是根據其測量原理。直接通過測定物理參數來獲取氣體壓強的真空計被稱為***真空計，例如U型壓力計和壓縮式真空計。***真空計測量氣體壓強較為準確，不受氣體成分影響。而相對真空計則通過測量與壓強相關的物理量，再與***真空計對比來得出壓強值，例如放電真空計、熱傳導真空計和電離真空計。相對真空計的測量準確度略遜于***真空計，且測量結果與氣體種類相關。在實際生產中，除了真空校準外，相對真空計的應用更為***。 真空計可分為真空計和相對真空計兩大類。艾科思 真空計售后服務

真空壓力計有多種類型，包括但不限于以下幾種：熱傳導真空壓力計：利用氣體熱傳導造成的某些結果（如熱絲溫度、電阻變化）來測量真空度。電離真空計：通過電子碰撞氣體分子使之電離，用測得的離子流來反應壓力。壓縮式真空計：先將被測氣體壓縮以提高其壓力，然后測量增高后的壓力，再根據壓縮比計算出原來的壓力值。薄膜真空計：利用薄膜在真空壓力作用下的變形來測量真空度，如電容式薄膜真空計。U型管真空計：使用歷史**長、結構**簡單的測量壓力的儀器，通過U型管兩端的液面差來指示真空度。數字式真空壓力計：能夠直接讀取數字顯示的壓力值，操作便捷，且具有高精度和穩定性。AKS真空計試用復合真空計-倒磁控管和皮拉尼，從5X10-9 mbar 至大氣氣壓的寬廣測量范圍不會出現絲極燒毀的現象。

2025年關于《雙活塞式壓力真空計檢定規程》征求意見稿發布   真空計雙活塞式壓力真空計由簡單活塞系統、差動活塞系統、**砝碼、校驗器等組成。10月16日，全國壓力計量技術委員會發布了《雙活塞式壓力真空計檢定規程》征求意見稿，并面向全國的計量機構、科研院所等相關單位征求意見。本規程的修訂引用了JJG99《砝碼》檢定規程文件，適用于測量范圍為（-0.1——1）MPa的雙活塞式壓力真空計的***檢定、后續檢定和使用中檢查。

    真空計用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓，是一種使用***的儀表。真空計的種類有很多，適用范圍也各有不同。掌握常見的真空計種類有利于正確選擇真空計類型。真空計可分為***真空計和相對真空計兩大類。一、***真空計能從液柱高度、比重等本身測得的物理量直接計算出氣體壓力的真空計。***真空計測量精度較高，主要用作基準量具。原理：在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞)。管的一端與待測壓力的真空容器相連，另一端是封死的或開口與大氣相通。根據兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統的壓力。測量范圍：粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)2.壓縮式真空計(麥克勞真空計)原理：把待測壓強氣體的一部分進行隔離并加以壓縮，直到壓強增大到可以直接測量的程度。 真空計利用氣體在低壓力下的熱傳導、電離、粘滯性和應變等物理特性與壓力的關系間接測量氣體壓力。

NC610A真空計廣泛應用于光伏、太陽能等行業的真空爐上。冷陰極型（如潘寧計）：利用高壓電場和磁場使殘余氣體電離，無需加熱陰極。離子電流同樣與氣體分子密度相關。特點：量程：通常為10?9Torr至10?3Torr，適合高真空至超高真空。優點：高真空下精度高（信號與氣體分子密度直接相關）。對氣體種類不敏感（電離截面差異可忽略）。局限性：熱陰極型需加熱陰極，可能污染系統（蒸發材料）。冷陰極型在低真空下可能無法啟動（需足夠殘余氣體維持真空計電離）。相對真空計能直接讀出被測壓力，但是測量精度較低，測量結果與被測氣體種類和成分有關！本安型真空計使用方法

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    這些真空泵按工作原理大致可以分為兩類。一類是真空計將氣體不斷吸入并排出體外的泵，例如機械泵、渦輪分子泵；一類是將氣體分子吸附在內壁上的泵，例如鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵。不管工作原理如何，這些泵的**終目的都是減少腔體內的氣體分子數。由于不同泵的構造不同，每種泵都有自己的工作區間，只有在一定的壓強范圍內才可以正常工作，否則就會損壞。不同泵的工作壓強區間如下圖所示。從上圖我們可以看出，要達到超高真空，只用一種泵是無法實現的，需要不同種類的泵接力，像極了我們做科研的過程，不是嗎？團隊合作。在實驗室，我們先用機械泵抽到粗真空，再打開分子泵抽到高真空，**后用離子泵或者鈦升華泵抽到實驗所需的真空狀態。 艾科思 真空計售后服務