電子探針分析是指以聚焦的高速電子來激發出試樣表面組成元素的特征X射線，對微區成分進行定性或定量分析的一種材料物理試驗，又稱電子探針X射線顯微分析。電子探針分析的原理是：以動能為10～30千電子伏的細聚焦電子束轟擊試樣表面，擊出表面組成元素的原子內層電子，使原子電離，此時外層電子迅速填補空位而釋放能量，從而產生特征X射線。電子探針的功能主要是進行微區成分分析。它是在電子光學和X射線光譜學原理的基礎上發展起來的一種高效率分析儀器。其原理是用細聚焦電子束入射樣品表面，激發出樣品元素的特征x射線，分析特征X射線的波長（或特征能量）即可知道樣品中所含元素的種類（定性分析），分析X射線的強度，則可知道樣品中對應元素含量的多少（定量分析）。探針卡是一種測試接口，主要對裸芯進行測試，通過連接測試機和芯片，通過傳輸信號對芯片參數進行測試.。嘉定區質量探針品牌

電子探針儀鏡筒部分的構造大體上和掃描電子顯微鏡相同，只是在檢測器部分使用的是X射線譜儀、專門用來檢測X射線的特征波長或特征能量，以此來對微區的化學成分進行分析。因此，除專門的電子探針儀外，有相當一部分電子探針儀是作為附件安裝在掃描電鏡或透射電鏡鏡筒上，以滿足微區組織形貌、晶體結構及化學成分三位一體同位分析的需要 [1]。用波長色散譜儀（或能量色散譜儀）和檢測計數系統，測量特征X射線的波長（或能量）和強度，即可鑒別元素的種類和濃度。閔行區標準探針按需定制當某一X射線光子進入計數管后，管內氣體電離，并在電場作用下產生電脈沖信號。

電子探針又稱微區X射線光譜分析儀、X射線顯微分析儀。其原理是利用聚焦的高能電子束轟擊固體表面，使被轟擊的元素激發出特征X射線，按其波長及強度對固體表面微區進行定性及定量化學分析。主要用來分析固體物質表面的細小顆粒或微小區域，**小范圍直徑為1μm左右。分析元素從原子序數3（鋰）至92（鈾）。***感量可達10-14至10-15g。近年形成了掃描電鏡-顯微分析儀的聯合裝置，可在觀察微區形貌的同時逐點分析試樣的化學成分及結構。廣泛應用于地質、冶金材料、水泥熟料研究等部門。如圖《電子探針示意圖》所示。

該系統為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量，足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束，作為X射線的激發源。為此，一般也采用鎢絲熱發射電子槍和2-3個聚光鏡的結構。 為了提高X射線的信號強度，電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流（在10-9-10-7A范圍），常用的加速電壓為10-30 KV，束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點。其方法是，先利用能發出熒光的材料（如ZrO2）置于電子束轟擊下，這是就能觀察到電子束轟擊點的位置，通過樣品移動裝置把它調到光學顯微鏡目鏡十字線交叉點上，這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點上，同時也保證了分析點處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學顯微鏡是同軸反射式物鏡，其優點是光學觀察和X射線分析可同時進行。放大倍數為100-500倍。電子束轟擊樣品表面將產生特征X射線，不同的元素有不同的X射線特征波長和能量。

探針卡是一種測試接口，主要對裸芯進行測試，通過連接測試機和芯片，通過傳輸信號對芯片參數進行測試.。2019年曝光的WiFi探針技術,甚至無需用戶主動連接WiFi即可捕獲個人信息。 [1]近年來半導體制程技術突飛猛進，超前摩爾定律預估法則好幾年，現階段已向7奈米以下挺進。產品講求輕薄短小，IC體積越來越小、功能越來越強、腳數越來越多，為了降低芯片封裝所占的面積與改善IC效能，現階段覆晶(Flip Chip)方式封裝普遍被應用于繪圖芯片、芯片組、存儲器及CPU等。上述高階封裝方式單價高昂，如果能在封裝前進行芯片測試，發現有不良品存在晶圓當中，即進行標記，直到后段封裝制程前將這些標記的不良品舍棄，可省下不必要的封裝成本?！癢i-Fi信道掃描工具”處于被動監測模式,無需用戶主動連接某個WiFi,需打開手機WiFi功能時即可捕獲。普陀區標準探針推薦貨源

光學顯微鏡目測系統。用以準確選擇需要分析的區域，并作光學觀察。嘉定區質量探針品牌

3 面分析用于測定某種元素的面分布情況。方法是將X射線譜儀固定在所要測量的某元素特征X射線信號的位置上，電子束在樣品表面做光柵掃描，此時在熒光屏上便可看到該元素的面分布圖像。顯像管的亮度由試樣給出的X射線強度調制。圖像中的亮區表示這種元素的含量較高。定量分析定量分析時，先測得試樣中Y元素的特征X射線強度IY，再在同一條件下測出已知純元素Y的標準試樣特征X射線強度IO。然后兩者分別扣除背底和計數器死時間對所測值的影響，得到相應的強度值IY和IO，兩者相除得到X射線強度之比KY= IY / IO。 直接將測得的強度比KY當作試樣中元素Y的重量濃度，其結果還有很大誤差，通常還需進行三種效應的修正。即原子序數效應的修正，吸收效應修正，熒光效應修正。經過修正，誤差可控制在±2%以內。嘉定區質量探針品牌

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