東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 定位技術，為智能家居系統提供了精細的用戶位置識別能力，實現個性化服務的智能觸發。RPS 通過藍牙信標、Wi-Fi 指紋等定位方式，可精細識別用戶在室內的位置，當用戶進入不同房間時，智能家居系統可自動調節燈光亮度、空調溫度等設備參數。RPS 定位響應速度快，可實時跟蹤用戶移動軌跡，確保服務切換的連貫性；定位精度高，避免因位置識別誤差導致的服務誤觸發。該 RPS 定位系統具備良好的擴展性，可與多種智能家居設備聯動，支持個性化場景定制，滿足不同用戶的生活需求。在數據安全方面，RPS 采用加密傳輸技術，保護用戶隱私信息不被泄露。通過 RPS 技術的應用，智能家居的智能化水平與用戶體驗大幅提升，成為智能家居領域的重要 RPS 技術應用。遠程等離子體（RPS）對真空腔體進行微處理，達到去除腔體內部水殘留氣體，減少殘余氣體量目的。浙江半導體設備RPS型號

半導體制造對工藝潔凈度和精度要求極高，任何微小的污染或損傷都可能導致器件失效。RPS遠程等離子源通過其低損傷特性，在清洗和刻蝕步驟中發揮重要作用。例如，在先進節點芯片的制造中，RPS遠程等離子源可用于去除光刻膠殘留或蝕刻副產物，而不會對脆弱的晶體管結構造成影響。其均勻的等離子體分布確保了整個晶圓表面的處理一致性，從而減少參數波動和缺陷密度。通過集成RPS遠程等離子源 into 生產線，制造商能夠實現更高的工藝穩定性和產品良率，同時降低維護成本。湖南半導體RPS射頻電源遠程等離子體源以其高效、無損傷的處理效果，在半導體制造中發揮著越來越重要的作用。

遠程等離子源，是一種基于變壓器電感耦合等離子體技術的duli式自由基發生器（RPS），可以有效的解離輸入氣體。產生清洗或蝕刻所需的自由基(氟、氧原子等)，這些自由基通過腔室壓差傳輸，遠程等離子體內的電場保持在較低的水平，避免電荷可能損壞敏感的晶圓結構，利用自由基的強氧化特性，達到腔室清洗(Chamber Clean)或制程（On-Wafer PROCESS）的目的。該產品設計具有先進的HA或PEO涂層plasma block，先進的功率自適應模式，滿足多種鍍膜和刻蝕工藝需求，小體積的同時最大功率可達10kw。

RPS遠程等離子源在先進封裝中的解決方案針對2.5D/3D封裝中的硅通孔（TSV）工藝，RPS遠程等離子源提供了完整的清洗方案。在深硅刻蝕后，采用SF6/O2遠程等離子體去除側壁鈍化層，同時保持銅導線的完整性。在芯片堆疊鍵合前，通過H2/N2遠程等離子體處理，將晶圓表面氧含量降至0.5at%以下，明顯 改善了銅-銅鍵合強度。某封測廠應用數據顯示，RPS遠程等離子源將TSV結構的接觸電阻波動范圍從±15%收窄至±5%。RPS遠程等離子源在MEMS器件釋放工藝中的突破MEMS器件無償 層釋放是制造過程中的關鍵挑戰。RPS遠程等離子源采用交替脈沖模式，先通過CF4/O2遠程等離子體刻蝕氧化硅無償 層，再采用H2/N2遠程等離子體鈍化結構層。這種時序控制將結構粘附發生率從傳統工藝的12%降至0.5%以下。在慣性傳感器制造中，RPS遠程等離子源實現了200:1的高深寬比結構釋放，確保了微機械結構的運動自由度。在熱電轉換器件中優化界面接觸電阻。

三維NAND閃存堆疊層數的不斷增加，對刻蝕后高深寬比結構的清洗帶來了巨大挑戰。其深孔或深溝槽底部的刻蝕殘留物（如聚合物）若不能徹底清理 ，將嚴重影響后續多晶硅或鎢填充的質量，導致電荷陷阱和器件性能劣化。在此RPS遠程等離子源應用領域展現出其獨特優勢。由于等離子體在遠程生成，其主要產物是電中性的自由基，這些自由基具有較好的擴散能力，能夠無阻礙地深入深寬比超過60:1的結構底部，與殘留物發生化學反應并將其轉化為揮發性氣體排出。相較于直接等離子體，RPS技術避免了因離子鞘層效應導致的清洗不均勻問題，確保了從結構頂部到底部的均勻清潔，且不會因離子轟擊造成結構側壁的物理損傷。這使得RPS遠程等離子源應用領域成為3D NAND制造中實現高良率、高可靠性的主要 技術之一。為半導體設備腔室提供高效在線清潔解決方案。海南晟鼎RPS常用知識

為量子點顯示提供精密圖案化。浙江半導體設備RPS型號

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠程等離子體源，突破半導體領域的應用局限，向多個行業拓展，展現出寬泛的適用性。在電子制造行業，RPS 用于電路板的精密清洗，去除表面殘留污染物，提升電路性能；在新能源行業，RPS 用于光伏電池的表面處理，增強光吸收能力，提高轉換效率；在醫療器械行業，RPS 用于植入體的表面改性，提升生物相容性。RPS 設備可根據不同行業的加工需求，調整工藝參數與氣體配比，實現定制化加工。晟鼎精密針對不同行業推出了特用 RPS 解決方案，配備相應的工藝參數數據庫與操作規范，幫助客戶快速上手使用。該 RPS 多行業應用方案已獲得多個行業客戶的認可，成為跨領域高精度加工的中心 RPS 設備。浙江半導體設備RPS型號