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多腔室外延系統(tǒng)監(jiān)控操作過(guò)程中的安全防護(hù)非常重要。激光安全是重中之重，系統(tǒng)必須配備互鎖裝置，確保在打開(kāi)激光防護(hù)罩時(shí)激光器自動(dòng)關(guān)閉，防止高能激光對(duì)人員眼睛和皮膚造成長(zhǎng)久性傷害。所有操作人員必須接受激光安全培訓(xùn)并佩戴相應(yīng)的防護(hù)眼鏡。此外，高壓電器（如加熱器電源、RHEED電源）也存在電擊風(fēng)險(xiǎn)，必須確保所有接地可靠，并在進(jìn)行任何內(nèi)部檢查前確認(rèn)設(shè)備完全斷電。 氣體使用的安全規(guī)范不容忽視。系統(tǒng)配備的兩路質(zhì)量流量計(jì)用于精確控制反應(yīng)氣體（如氧氣）或惰性氣體（如氬氣）。在使用氧氣等助燃?xì)怏w時(shí)，必須確保氣路連接牢固無(wú)泄漏，并遠(yuǎn)離任何潛在的油污和熱源。特別是在進(jìn)行較高氧氣壓力下的沉積時(shí)，需明確了解鉑金加熱器等元件在特定壓力...
2025-12-04