激光干涉儀的應(yīng)用：1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到蕞佳精度，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。3、數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關(guān)標準處理的統(tǒng)計結(jié)果。激光干涉儀的光源——激光。南京精密儀器校準激光干涉儀

激光干涉儀的應(yīng)用：數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在，利用激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關(guān)標準處理的統(tǒng)計結(jié)果。雙軸定位精度的檢測及其自動補償。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。進囗激光干涉儀設(shè)計影響激光干涉儀測量精度的因素包括：測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差。

激光干涉儀使用注意事項：1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應(yīng)托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應(yīng)當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。6、在使用時應(yīng)避免強旋、硬扳等情況，合理恰當?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。

現(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類關(guān)于光學的知識的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質(zhì)：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量，普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域，已經(jīng)成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領(lǐng)域中比較成功的應(yīng)用之一。利用光的干涉實現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到普遍的應(yīng)用。激光干涉儀的應(yīng)用：數(shù)控機床動態(tài)性能檢測。

隨著數(shù)控機床應(yīng)用的普及，采用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀測量原理：激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工作。顯微式激光干涉儀設(shè)備廠家

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法。南京精密儀器校準激光干涉儀

激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具，能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度，反向間隙等。以我司生產(chǎn)的型號XL-80激光干涉儀為例，其線性測長精度可達到±0.5ppm(0~40℃)，線性測量比較長可以達到80m，比較高線性測長分辨率0.001μm，比較高測量速度240m/min。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、Zgao測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。南京精密儀器校準激光干涉儀