半導體產業的迭代升級將持續拉動鈦靶塊需求爆發。在邏輯芯片領域,鈦靶濺射生成的5-10nm TiN阻擋層是銅互連技術的保障,Intel 4工藝中靶材利用率已從傳統的40%提升至55%,未來隨著3nm及以下制程普及,阻擋層厚度將降至3nm以下,要求鈦靶純度達5N以上且雜質元素嚴格控級,如碳含量≤10ppm、氫含量≤5ppm。DRAM存儲器領域,Ti/TiN疊層靶材制備的電容電極,介電常數達80,較Al?O?提升8倍,助力三星1β納米制程研發,未來針對HBM3e等高帶寬存儲器,鈦靶將向高致密度、低缺陷方向發展,缺陷密度控制在0.1個/cm2以下。極紫外光刻(EUV)技術的推廣,帶動鈦-鉭復合靶材需求...
傳統鈦靶塊的濺射溫度較高(通常在200-300℃),對于一些耐熱性較差的基材(如塑料、柔性薄膜),高溫濺射會導致基材變形或損壞。低溫濺射適配創新通過“靶材成分調整+濺射參數優化”,實現了鈦靶塊在低溫環境下的高效濺射。靶材成分調整方面,在鈦靶塊中摻雜5%-10%的鋁(Al)和3%-5%的鋅(Zn),形成鈦-鋁-鋅合金靶塊。鋁和鋅的加入可降低靶材的熔點和濺射閾值,使濺射溫度從傳統的200-300℃降至80-120℃,同時保證鍍膜的性能。濺射參數優化方面,創新采用脈沖直流濺射技術,調整脈沖頻率(100-500kHz)和占空比(50%-80%),使靶面的離子轟擊強度均勻分布,避免局部溫度過高。同時,降...
鈦靶塊的晶粒取向調控創新 鈦靶塊的晶粒取向直接影響濺射過程中的原子逸出速率和鍍膜的晶體結構,傳統鈦靶塊的晶粒取向呈隨機分布,導致濺射效率低下且鍍膜性能不穩定。晶粒取向調控創新通過“軋制-退火”的工藝組合,實現了鈦靶塊晶粒取向的定向優化。在軋制工藝階段,采用多道次異步軋制技術,上下軋輥的轉速比控制在1.2-1.5:1,通過剪切應力的作用促使晶粒發生定向轉動。軋制過程中嚴格控制每道次的壓下量(5%-8%)和軋制溫度(室溫-300℃),避免因壓下量過大導致的材料開裂。隨后的退火工藝創新采用脈沖電流退火技術,以10-20A/mm2的電流密度通入鈦靶坯,利用焦耳熱實現快速升溫(升溫速率達50℃/s),在...
鈦靶塊的輕量化結構設計創新傳統鈦靶塊多采用實心結構,重量較大,不僅增加了濺射設備的負載,還提高了運輸和安裝成本。輕量化結構設計創新通過“空心夾層+加強筋”的結構優化,在保證靶塊力學性能的前提下,實現了重量的大幅降低。創新設計的鈦靶塊采用空心夾層結構,夾層厚度根據靶塊的尺寸和受力情況設計為5-10mm,同時在夾層內部設置呈網格狀分布的加強筋,加強筋的截面尺寸為10mm×10mm,間距為200-300mm。為保證空心結構的成型質量,采用消失模鑄造技術制備靶坯,將泡沫塑料制成的型芯放入砂型中,然后澆注熔融的鈦液,鈦液冷卻凝固后去除型芯,形成空心夾層結構。隨后對靶坯進行熱處理(900℃保溫1h后空冷)...
復合化與多功能化將成為鈦靶塊產品創新的主流方向。當前鈦鋁、鈦鎳鋯等二元、三元復合靶材市場份額已達48%,未來多組元復合靶將成為研發重點。Ti-Al-Si-O四元高熵合金靶材已展現出優異性能,其制備的薄膜硬度達HV2000,較傳統TiN膜提升11%,將廣泛應用于刀具表面強化、半導體封裝等領域。在功能定制方面,針對氫能產業的鈦釕合金靶,電解水制氫催化效率達85%,未來通過組分優化和微觀結構調控,效率有望突破90%;面向柔性電子的超薄鈦靶,已實現卷對卷濺射工藝下10萬次彎折壽命,下一步將聚焦50納米以下超薄靶材的均勻性控制,滿足可穿戴設備的柔性電路需求。此外,梯度復合靶技術將興起,通過控制靶材不同區...
不同行業、不同應用場景對鈦靶塊的性能、尺寸、形狀等要求存在較大差異,傳統規模化生產模式難以滿足個性化需求。定制化生產技術創新依托“數字化設計-柔性制造-檢測”的技術體系,實現了鈦靶塊的個性化定制。數字化設計階段,采用三維建模軟件(如UG、Pro/E)構建鈦靶塊的數字化模型,根據客戶的鍍膜需求、設備參數等進行仿真分析,優化靶塊的結構和性能參數。柔性制造階段,搭建了模塊化的生產生產線,根據不同的靶塊規格和工藝要求,快速切換生產模塊,實現從原材料加工到成品出廠的全流程柔性生產。例如,針對小型精密鈦靶塊,采用高精度數控加工中心進行加工;針對大型異形鈦靶塊,采用3D打印技術進行快速成型。檢測階段,建立了...
半導體產業的迭代升級將持續拉動鈦靶塊需求爆發。在邏輯芯片領域,鈦靶濺射生成的5-10nm TiN阻擋層是銅互連技術的保障,Intel 4工藝中靶材利用率已從傳統的40%提升至55%,未來隨著3nm及以下制程普及,阻擋層厚度將降至3nm以下,要求鈦靶純度達5N以上且雜質元素嚴格控級,如碳含量≤10ppm、氫含量≤5ppm。DRAM存儲器領域,Ti/TiN疊層靶材制備的電容電極,介電常數達80,較Al?O?提升8倍,助力三星1β納米制程研發,未來針對HBM3e等高帶寬存儲器,鈦靶將向高致密度、低缺陷方向發展,缺陷密度控制在0.1個/cm2以下。極紫外光刻(EUV)技術的推廣,帶動鈦-鉭復合靶材需求...
新能源產業的崛起為鈦靶塊開辟了多元化應用賽道。在太陽能電池領域,鈦鋁復合靶材制備的光伏電池背電極,可使光電轉換效率提升2%;濺射鈦薄膜作為鈣鈦礦電池電子傳輸層,能降低電荷復合率,未來隨著鈣鈦礦-硅基疊層電池商業化,鈦靶需求量將呈指數級增長,預計2030年光伏領域鈦靶需求占比達15%。氫能產業中,鈦釕、鈦銥等貴金屬復合靶材是電解水制氫電極的材料,當前催化效率達85%,通過納米晶化處理和組分優化,未來效率有望突破90%,推動綠氫成本下降。新能源汽車領域,鈦靶鍍膜的電池外殼耐腐蝕性提升3倍,適配動力電池長壽命需求;車載雷達的微波吸收涂層也依賴鈦基復合靶材,隨著自動駕駛滲透率提升,該領域需求將快速增長...
2021-2023 年,我國鈦靶塊行業進入國產化加速推進的關鍵時期,政策扶持與技術突破形成合力,國產替代率提升。國家 “十四五” 新材料產業發展規劃將濺射靶材列為重點突破領域,集成電路產業投資基金加大對上游材料環節的布局,為國產鈦靶塊企業提供了資金和政策支持。技術層面,國內企業在鈦靶塊領域持續突破,江豐電子實現 14nm 節點鈦靶的客戶驗證,有研億金在大尺寸全致密旋轉鈦靶方面取得進展,產品進入中芯北方、華力集成等先進產線試用。產能方面,本土企業紛紛擴大生產規模,江豐電子、有研新材等頭部企業新建生產線,提升鈦靶材的供給能力。市場表現上,2023 年國內半導體用鈦靶市場國產化率已從 2020 年的...
純度作為鈦靶塊重要的性能指標之一,對其濺射性能及沉積薄膜的質量有著決定性影響,因此在鈦靶塊的生產與應用中,純度控制始終是關注點。鈦靶塊中的雜質主要來源于原料海綿鈦、制備過程中的污染以及加工環節的引入,常見的雜質包括氧、氮、碳、氫、鐵、硅等。其中,氧和氮是影響的雜質元素,它們易與鈦形成間隙固溶體,導致鈦靶塊的硬度升高、塑性降低,不僅會增加機械加工的難度,還會在濺射過程中影響濺射速率的穩定性。同時,氧、氮等雜質會隨著濺射過程進入薄膜中,導致薄膜的晶格畸變,降低薄膜的電學性能(如電阻率升高)、光學性能(如透光率下降)和耐蝕性能。對于半導體領域應用的高純鈦靶塊,雜質含量的控制更為嚴苛,例如5N級高純鈦...
全球市場格局將呈現“中國主導、多極競爭”的重構態勢。當前中國鈦靶產能占全球50%以上,2025年市場規模預計突破50億美元,年均增長率達12%,陜西、四川、江蘇形成三大產業集群,其中陜西產能占比35%,寶鈦股份、西部材料等企業發展。未來五年,中國將在市場實現突破,高純度鈦靶國產化率從30%提升至50%,大尺寸顯示面板用靶材實現進口替代。國際競爭方面,美國仍主導航空航天和用鈦靶,2025年市場規模達15億美元;日本在高純度鈦靶技術上保持優勢,出口額預計突破8億美元;歐洲聚焦醫療和新能源領域,市場規模達10億美元。全球鈦靶需求量將從2025年的30萬噸增長至2030年的50萬噸,中國需求占比始終保...
半導體產業的迭代升級將持續拉動鈦靶塊需求爆發。在邏輯芯片領域,鈦靶濺射生成的5-10nm TiN阻擋層是銅互連技術的保障,Intel 4工藝中靶材利用率已從傳統的40%提升至55%,未來隨著3nm及以下制程普及,阻擋層厚度將降至3nm以下,要求鈦靶純度達5N以上且雜質元素嚴格控級,如碳含量≤10ppm、氫含量≤5ppm。DRAM存儲器領域,Ti/TiN疊層靶材制備的電容電極,介電常數達80,較Al?O?提升8倍,助力三星1β納米制程研發,未來針對HBM3e等高帶寬存儲器,鈦靶將向高致密度、低缺陷方向發展,缺陷密度控制在0.1個/cm2以下。極紫外光刻(EUV)技術的推廣,帶動鈦-鉭復合靶材需求...
智能化與數字化轉型將重塑鈦靶塊行業的生產與服務模式。生產端,數字孿生技術將實現鈦靶制造全流程虛擬仿真,中科院沈陽科學儀器研發的MCVD軟件已能模擬濺射粒子分布,減少試錯成本60%,未來將構建涵蓋原料提純、熔煉、鍛造、濺射全環節的數字孿生系統,工藝研發周期縮短70%。設備智能化方面,熔煉爐、軋制機等關鍵設備將配備智能傳感器和AI控制系統,實現工藝參數實時優化,產品合格率從當前的85%提升至95%以上。服務端,將形成“制造+服務”的新業態,企業為客戶提供定制化鍍膜解決方案,包括靶材設計、工藝參數優化、鍍膜效果檢測等一體化服務。遠程運維服務興起,通過設備聯網實現靶材生產設備的遠程監控和故障診斷,停機...
20 世紀 90 年代,鈦靶塊行業進入成熟期,產業鏈的完善與全球化競爭格局的形成成為主要特征。隨著全球制造業向化轉型,半導體、顯示面板等產業的快速擴張帶動鈦靶塊需求持續攀升,市場規模實現跨越式增長。技術層面,高純鈦提純技術取得重大突破,靶材純度達到 99.995%(4N5),滿足了先進半導體制程的要求;焊接綁定工藝的成熟的解決了靶材與背板的連接難題,提升了濺射過程中的熱傳導效率和靶材利用率。產業鏈方面,形成了從海綿鈦生產、高純鈦提純、靶坯制造、精密加工到綁定封裝的完整產業體系,上下游協同效應增強。全球市場呈現出寡頭競爭格局,美國霍尼韋爾、日本東曹、日礦金屬等國際企業憑借技術積累和,占據全球主要...
制造工藝的精密化與智能化是鈦靶塊未來發展的引擎。電子束冷床熔煉(EBCHM)和熱等靜壓(HIP)工藝的規模化應用,已使鈦靶氧含量≤50ppm、孔隙率降至0.01%,密度達理論值的99.8%。未來,工藝創新將集中在三個方向:一是晶體取向調控,通過交叉軋制與多階段退火的智能耦合,實現(002)等擇優取向占比超90%,使濺射速率提升40%以上,滿足半導體鍍膜的高效需求;二是異形靶材成型技術,激光3D打印技術將實現環形、弧形等定制化靶材的快速成型,生產周期從傳統的3個月縮短至15天以內,適配旋轉磁控濺射設備的需求;三是智能化生產體系構建,通過物聯網實現熔煉、鍛造、軋制全流程數據實時監控,結合AI算法優...
21 世紀初的十年,鈦靶塊行業在新興領域需求驅動下實現技術革新與應用拓展的雙重突破。隨著信息技術的普及和新能源產業的興起,半導體制程向深亞微米級別推進,顯示技術從 LCD 向 OLED 轉型,對鈦靶塊的性能提出了更為嚴苛的要求,純度標準提升至 99.999%(5N),晶粒尺寸均勻性和表面平整度成為競爭指標。制備技術方面,電子束冷床爐提純技術的應用進一步降低了雜質含量,粉末冶金與熱等靜壓復合工藝實現了大尺寸、高致密度靶塊的穩定生產;智能化檢測技術的引入則建立了全流程質量控制體系,確保產品性能一致性。應用領域上,鈦靶塊在智能手機、平板電腦等消費電子產品中獲得廣泛應用,同時在新能源汽車電池、光伏電池...
鈦靶塊表面改性的功能化創新鈦靶塊的表面狀態直接影響濺射過程中的電弧產生頻率和鍍膜的附著性能,傳統鈦靶塊表面進行簡單的打磨處理,存在表面粗糙度不均、氧化層過厚等問題。表面改性的功能化創新構建了“清潔-粗化-抗氧化”的三層改性體系,實現了靶塊表面性能的優化。清潔階段采用等離子清洗技術,以氬氣為工作氣體,在10-20Pa的真空環境下產生等離子體,通過等離子體轟擊靶塊表面,去除表面的油污、雜質及氧化層,清潔后的表面接觸角從60°以上降至30°以下,表面張力提升。粗化階段創新采用激光微織構技術,利用脈沖光纖激光在靶塊表面加工出均勻分布的微凹坑結構,凹坑直徑控制在50-100μm,深度為20-30μm,間...
鈦靶塊的分類體系較為完善,不同分類標準下的鈦靶塊在性能與應用場景上存在差異,明確其分類有助于匹配具體應用需求。從純度角度劃分,鈦靶塊可分為工業純鈦靶塊與高純鈦靶塊。工業純鈦靶塊的純度通常在99.0%-99.7%之間,主要含有氧、氮、碳、氫、鐵等微量雜質,這類靶塊成本相對較低,適用于對薄膜純度要求不高的場景,如普通裝飾性涂層、部分機械零部件的表面強化等。高純鈦靶塊的純度則普遍在99.9%以上,部分領域使用的鈦靶塊純度甚至可達99.99%(4N)、99.999%(5N)級別,其雜質含量被嚴格控制在極低水平,因為即使是微量雜質也可能影響沉積薄膜的電學、光學或磁學性能,因此高純鈦靶塊廣泛應用于半導體、...
半導體產業的迭代升級將持續拉動鈦靶塊需求爆發。在邏輯芯片領域,鈦靶濺射生成的5-10nm TiN阻擋層是銅互連技術的保障,Intel 4工藝中靶材利用率已從傳統的40%提升至55%,未來隨著3nm及以下制程普及,阻擋層厚度將降至3nm以下,要求鈦靶純度達5N以上且雜質元素嚴格控級,如碳含量≤10ppm、氫含量≤5ppm。DRAM存儲器領域,Ti/TiN疊層靶材制備的電容電極,介電常數達80,較Al?O?提升8倍,助力三星1β納米制程研發,未來針對HBM3e等高帶寬存儲器,鈦靶將向高致密度、低缺陷方向發展,缺陷密度控制在0.1個/cm2以下。極紫外光刻(EUV)技術的推廣,帶動鈦-鉭復合靶材需求...
鈦靶塊的未來將呈現“技術化、應用多元化、產業綠色化、市場全球化”的總體趨勢。技術層面,5N以上高純度鈦靶、大尺寸復合靶、異形定制靶將成為主流產品,晶體取向調控、3D打印成型等技術實現規模化應用;應用層面,將從半導體、顯示等傳統領域向氫能、生物醫用、深空探測等新興領域延伸,形成多領域協同驅動格局;產業層面,綠色制造和循環經濟成為核心競爭力,智能化生產體系建成,單位產品能耗和碳排放大幅降低;市場層面,中國將確立全球鈦靶產業的主導地位,產品實現進口替代,同時出口份額持續提升,形成與歐美日企業的差異化競爭格局。未來十年,鈦靶塊將從“關鍵耗材”升級為“制造材料”,支撐全球半導體、新能源、航空航天等戰略產...
鈦靶塊的發展起源于鈦金屬本身的特性發掘與工業應用需求的萌芽。鈦元素于 1791 年被發現,但其冶煉技術長期停滯,直到 20 世紀 40 年代克勞爾法和亨特法的出現,才實現了金屬鈦的工業化生產。這一突破為鈦靶塊的誕生奠定了物質基礎。早期鈦靶塊的探索主要圍繞航空航天領域展開,20 世紀 50 年代,隨著噴氣式發動機和火箭技術的快速發展,對耐高溫、度且輕量化結構材料的需求日益迫切。鈦靶塊憑借鈦金屬優異的比強度和耐腐蝕性,開始被嘗試用于航空部件的表面改性處理,通過簡單的真空蒸發工藝制備功能性薄膜,以提升部件的耐磨和抗腐蝕性能。這一階段的鈦靶塊生產工藝簡陋,純度較低(多在 99.5% 以下),尺寸規格單...
高純度鈦靶塊的提純工藝創新傳統鈦靶塊提純工藝多采用真空電弧熔煉法,其純度通常止步于99.99%(4N),難以滿足半導體芯片等領域對雜質含量低于1ppm的嚴苛要求。創新型聯合提純工藝實現了突破性進展,該工藝以Kroll法產出的海綿鈦為原料,先通過電子束熔煉技術去除鈦中的高蒸氣壓雜質(如鈉、鎂、氫等),熔煉過程中采用水冷銅坩堝與電子束掃描控溫,將熔池溫度穩定在1800-2000℃,使雜質蒸發率提升至95%以上。隨后引入區域熔煉技術,以每分鐘0.5-1cm的速度移動感應線圈,利用雜質在固液兩相中的分配系數差異,對鈦錠進行3-5次定向提純。終產出的鈦靶塊純度可達99.9995%(5N5),其中氧、氮等...
傳統鈦靶塊生產過程中,工藝參數的監控多采用人工采樣檢測,存在檢測滯后、精度低等問題,導致產品質量不穩定。智能化生產監控創新構建了“物聯網+大數據+人工智能”的智能化監控體系,實現了生產過程的實時監控和調控。在生產設備上安裝了大量的傳感器(如溫度傳感器、壓力傳感器、位移傳感器等),實時采集熔煉溫度、鍛壓壓力、濺射速率等關鍵工藝參數,通過物聯網將數據傳輸至大數據平臺。大數據平臺對采集到的數據進行存儲、分析和挖掘,建立工藝參數與產品性能之間的關聯模型。人工智能系統基于關聯模型,通過機器學習算法實時優化工藝參數,例如當檢測到靶塊的純度低于標準值時,系統自動調整電子束熔煉的功率和時間,確保產品質量。同時...
鈦靶塊的分類體系較為完善,不同分類標準下的鈦靶塊在性能與應用場景上存在差異,明確其分類有助于匹配具體應用需求。從純度角度劃分,鈦靶塊可分為工業純鈦靶塊與高純鈦靶塊。工業純鈦靶塊的純度通常在99.0%-99.7%之間,主要含有氧、氮、碳、氫、鐵等微量雜質,這類靶塊成本相對較低,適用于對薄膜純度要求不高的場景,如普通裝飾性涂層、部分機械零部件的表面強化等。高純鈦靶塊的純度則普遍在99.9%以上,部分領域使用的鈦靶塊純度甚至可達99.99%(4N)、99.999%(5N)級別,其雜質含量被嚴格控制在極低水平,因為即使是微量雜質也可能影響沉積薄膜的電學、光學或磁學性能,因此高純鈦靶塊廣泛應用于半導體、...
傳統鈦靶塊生產過程中,工藝參數的監控多采用人工采樣檢測,存在檢測滯后、精度低等問題,導致產品質量不穩定。智能化生產監控創新構建了“物聯網+大數據+人工智能”的智能化監控體系,實現了生產過程的實時監控和調控。在生產設備上安裝了大量的傳感器(如溫度傳感器、壓力傳感器、位移傳感器等),實時采集熔煉溫度、鍛壓壓力、濺射速率等關鍵工藝參數,通過物聯網將數據傳輸至大數據平臺。大數據平臺對采集到的數據進行存儲、分析和挖掘,建立工藝參數與產品性能之間的關聯模型。人工智能系統基于關聯模型,通過機器學習算法實時優化工藝參數,例如當檢測到靶塊的純度低于標準值時,系統自動調整電子束熔煉的功率和時間,確保產品質量。同時...
顯示技術的革新將推動鈦靶塊向大尺寸、超薄化方向突破。OLED柔性屏的普及帶動了鈦靶在透明導電層和封裝層的應用,鈦靶與氧化銦錫(ITO)共濺射制備的10nm超薄電極,方阻≤10Ω/□、透光率≥92%,已應用于蘋果Micro LED屏幕。未來隨著G10.5代線顯示面板產能擴張,對4000×2500mm以上大尺寸鈦靶需求激增,當前全球3家企業可量產,國內寶鈦集團等企業正加速突破,預計2028年實現國產化替代,單價較進口降低40%。AR/VR設備的爆發式增長催生了特殊光學性能鈦靶需求,非晶鈦靶(Ti-Si-O)鍍制的寬帶減反膜,可見光反射率≤0.5%,已應用于Meta Quest 3,未來將向寬波段適...
半導體產業的迭代升級將持續拉動鈦靶塊需求爆發。在邏輯芯片領域,鈦靶濺射生成的5-10nm TiN阻擋層是銅互連技術的保障,Intel 4工藝中靶材利用率已從傳統的40%提升至55%,未來隨著3nm及以下制程普及,阻擋層厚度將降至3nm以下,要求鈦靶純度達5N以上且雜質元素嚴格控級,如碳含量≤10ppm、氫含量≤5ppm。DRAM存儲器領域,Ti/TiN疊層靶材制備的電容電極,介電常數達80,較Al?O?提升8倍,助力三星1β納米制程研發,未來針對HBM3e等高帶寬存儲器,鈦靶將向高致密度、低缺陷方向發展,缺陷密度控制在0.1個/cm2以下。極紫外光刻(EUV)技術的推廣,帶動鈦-鉭復合靶材需求...
半導體行業是鈦靶塊重要、技術要求的應用領域,其需求源于芯片制造過程中對金屬互聯層、阻擋層及黏結層的精密鍍膜要求,鈦靶塊憑借高純度、優異的電學性能與工藝適配性,成為半導體制造不可或缺的關鍵材料。在芯片金屬互聯結構中,鈦靶塊主要用于制備兩大膜層:一是鈦黏結層(Ti Adhesion Layer),在芯片制造中,硅片表面的二氧化硅(SiO?)絕緣層與后續沉積的鋁或銅金屬互聯層之間存在結合力差的問題,直接沉積易導致金屬層脫落,而通過濺射鈦靶塊在 SiO?表面形成一層 50-100nm 厚的鈦膜,鈦可與 SiO?發生化學反應生成 TiSi?或 TiO?,同時與金屬層形成良好的金屬鍵結合,提升金屬互聯層與...
綠色制造與可持續發展將成為鈦靶塊行業的發展理念。當前國內鈦靶生產企業已開始推廣節能環保工藝,單位產品能耗預計降低15%,碳排放量減少20%,未來將進一步通過工藝優化實現低碳化生產。熔煉環節,將推廣低能耗電子束冷床技術,替代傳統真空電弧熔煉,能耗降低30%以上;軋制環節,采用伺服電機驅動的高精度軋制設備,能源利用效率提升25%。循環經濟將成為行業標配,除廢靶回收外,生產過程中的切屑、邊角料等副產品利用率將達95%以上,通過氫化脫氫工藝制成粉末,用于3D打印靶材生產。環保標準方面,將嚴格控制生產過程中的廢氣、廢水排放,采用等離子體處理技術凈化廢氣,廢水循環利用率達90%以上。綠色供應鏈建設加速,企...
鈦靶塊的性能,根源在于其原料 —— 金屬鈦的與后續的提純工藝,二者共同決定了靶塊的純度與微觀質量。金屬鈦的原料主要來自鈦鐵礦(FeTiO?)和金紅石(TiO?)兩種礦物,其中鈦鐵礦儲量更為豐富,約占全球鈦資源總量的 90% 以上,主要分布在澳大利亞、南非、加拿大及中國四川、云南等地;金紅石則因鈦含量高(TiO?含量可達 95% 以上),是生產高純度鈦的原料,但儲量相對稀缺。從礦物到金屬鈦的轉化需經過 “鈦礦富集 — 氯化 — 還原” 三大步驟:首先通過重力選礦、磁選等工藝去除鈦礦中的鐵、硅等雜質,得到鈦精礦;隨后將鈦精礦與焦炭、氯氣在高溫下反應,生成四氯化鈦(TiCl?),此過程可進一步去除鎂...